光电法光谱分析是把激发试样所获得的复合光通过入射狭缝在分光元件上，被射散成光谱，以光电转换系统和测量系统进行光电转换并测量谱线强度而求得试样中各待测元素的含量。

光电法光谱分析是一种原子发射光谱分析方法（AES），它是根据物质中不同原受激发后，产生不同的特征光谱来确定其化学组成的分析方法，可对约70种元素（包括金属元素及磷、硅、碳等非金属元素）进行定性、定量分析，广泛应用于冶金、有色、机械、航空航天、兵器等行业材料分析中。其原理：一般情况下，原子处于最低能量状态，称为基态。当原子获得足够的能量后，就会使外层电子从低能级跃迁至高能级，这种状态称为激发态。原子外层电子处于激发态时是很不稳定的，当它从激发态回到基态时，就要以光的形式释放出多余的能量，既得到发射光谱。不同元素原子的结构和有差异，能级间的能量差各不相同。当原子受激发时，就辐射出各元素所固有的特征光谱，光谱分析就是利用光谱仪检查光谱图中某波长特征谱线的有无，来判断试样中某些元素是否存在。离子光谱是离子被激发后而产生的光谱。由于离子和原子具有不同的能级，所以离子发射的光谱与原子发射的光谱不一样。因此，在进行分析时应注意这一点，特别是易电离的元素。